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《微纳电子技术》2021年04期

 
目录
技术论坛
MEMS压电能量采集器的研究进展董璇;王保志;张成功;王欢;李以贵;279-291
材料与结构
NiMoO4-CoMoO4纳米复合材料的制备及其电化学性能王广建;陈征;周桃;292-295+324
氧化钨和钯修饰氧化钨纳米材料的制备及其选择性气敏特性孙永娇;周蕊;杨浩月;胡杰;296-302+315
硫掺杂激光诱导石墨烯的制备及抗菌性能杨勇;周可心;胡南滔;张亚非;303-308+331
MEMS与传感器
PDMS基摩擦纳米发电机膜内掺杂张宁;何剑;丑修建;309-315
基于液体摆的双轴电容式倾角传感器叶凌霄;娄宗勇;黎霞;王志华;316-324
基于SOI的MEMS高温压阻式压力传感器单存良;梁庭;王文涛;雷程;薛胜方;刘瑞芳;李志强;325-331
基于微流控技术的液滴微颗粒分选钟明浩;郭钟宁;刘宇迅;332-336
加工、测量与设备
基于硅模具制作的纳米裂纹及应变传感器张之昊;李浩然;张思琦;刘军山;337-341
芯片级铯原子钟MEMS气室的气密性封装王锦曦;闫树斌;苏浩;杨啸宇;罗云霞;郭京;华尔天;342-349
硝酸改性石墨毡制作超级电容器的复合电极严晨欢;曲艺鸿;童新;王哲;徐少辉;熊大元;王连卫;350-358
重金属检测微纳传感器芯片批量制备与测试戴金莹;尹加文;郜晚蕾;金庆辉;359-364
SnBi基焊点在热作用下的可靠性和失效分析徐衡;陈旭;罗登俊;颜炎洪;李守委;徐罕;365-370
中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介349
第十四届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知364
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