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《微纳电子技术》2021年07期

 
目录
技术论坛
高性能电阻型柔性压力传感器研究进展白成;耿达;周伟;陈松月;559-570
材料与结构
碳点MnO2修饰碳布复合电极的电容性能张兵;周秧;庞宁;童新;熊大元;徐少辉;王连卫;571-577+632
NiO纳米纤维掺杂SnO2检测液态甲醛的机理和性能侯伟;王俊和;程永强;禚凯;李艳萍;578-583+645
钙钛矿太阳电池CsPbI3的相稳定性研究进展陈熙;林佳;刘晓霖;584-590+597
MEMS与传感器
针尖电极尖端直径对带有针尖结构的摩擦纳米发电机输出的影响张宁;石树正;薛峰;何剑;丑修建;591-597
微通道流动沸腾压降及波动性刘广林;郭明宇;李泽;徐进良;张伟;598-603
基于自组装金纳米颗粒的化学电阻传感器唐嫒尧;李明虓;程洁;黄成军;604-611+626
电容式微机械超声换能器线阵的设计及超声成像索文宇;任勇峰;吴敏;吴子君;何常德;612-620
用于植保无人机的MEMS热式风速传感器的研制与应用李以贵;金敏慧;王佩英;邱霁玄;张成功;621-626
基于MOEMS敏感结构的非本征F-P干涉仪式光纤声压传感器解涛;杨志;王文军;吴宇;刘涛;627-632
加工、测量与设备
空间占位法制备的Si-C负极材料及其在锂电池中的应用孔国龙;董燕茹;张渝;马磊;汪越;唐根;庞爱民;魏良明;633-640+658
基于金刚石系综NV色心的温度磁传感特性柴笑晗;王军旗;傅月平;牛刘敏;郑斗斗;袁华;马宗敏;641-645
火花放电制备纳米银提升导电油墨性能焦晓飞;史子峥;景天宇;杜希文;646-651
应用于MCM-C/D的减薄抛光工艺谢迪;李浩;侯清健;崔凯;胡永芳;652-658
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