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《微纳电子技术》2021年10期

 
目录
技术论坛
MEMS陀螺仪的研究现状与进展(续)李永;赵正平;851-859+934
镁基微马达在环境科学和生物医疗中的应用研究现状李钟昊;谢忠洲;逯浩;王莹;860-865+912
纳米铜在电子封装中的应用研究进展曾策;崔西会;廖承举;卢茜;吕英飞;866-874
器件与技术
源漏偏置电压对AlGaN/GaN HEMT太赫兹探测器灵敏度的调控刘亮;熊圣浩;丁青峰;冯伟;朱一帆;秦华;875-881
材料与结构
Zn-Ni MOF/rGO复合结构的制备及其电化学性能王文达;雷倩;徐宏妍;胡杰;882-889+925
CoSe2/C@PPy复合电极材料的制备及其电化学性能陈丽;王海兵;张倪;李慧玉;朱燕艳;890-894
Cs+掺杂MAPbI3薄膜的能级调控及其光电性能朱磊;顾修全;895-902+919
基于白光LED的红光碳点制备及荧光性能朱丽娜;陈叶青;黄洁;李晨;熊高阳;饶朋朋;903-912
MEMS与传感器
基于仿生复眼结构的柔性电容式压力传感器刘婧雯;罗忠宝;段俊萍;张斌珍;913-919
基于MWCNT-PDMS高灵敏度电容式柔性压力传感器徐国际;张文磊;李廷鱼;顼建乐;郭丽芳;李刚;920-925
加工、测量与设备
基于半开放式微流控芯片的ZnO纳米材料的合成郑欣宇;李昕;邹磊;潘海林;赵振杰;李欣;926-934
Fe2O3纳米片薄膜的制备及其电化学性能张伟;顼建乐;李廷鱼;郭丽芳;李刚;935-942
一种玻璃通孔晶片的研磨加工工艺杨静;王雄龙;韩焕鹏;张伟才;943-948
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第七届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会暨2021半导体功率器件技术创新与产业融合发展论坛
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