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《微纳电子技术》2021年11期

 
目录
技术论坛
磁通门磁张量仪研究进展刘佳宁;支绍韬;孙学成;雷冲;949-956+1029
材料与结构
MoS2/Mxene复合材料的制备及其中性析氧电催化性能王思弘;郭萃萍;宋钫;957-964
电沉积镍/金刚石复合镀层微结构制备及硬度测试范若欣;赖丽燕;李以贵;965-970
Fe2O3/GR超级电容器电极材料的制备与电化学性质程宇暄;冯国庆;彭丰;朱燕艳;971-975
长余辉纳米颗粒改性研究进展刘卫国;热娜古丽·阿不都热合曼;茹鲜古丽·艾外力;976-984
水平集法研究SON结构的形成机理与实验验证郝秀春;王佳伟;何沛凌;985-991+1022
MEMS与传感器
基于还原氧化石墨烯材料的电阻式湿度传感器雷程;张君娜;刘瑞芳;梁庭;赵珠杰;齐蕾;992-997
基于Pd@ZnCo-MOF衍生物的免疫传感器制备及电化学性能任梦婕;雷倩;徐宏妍;胡杰;郭丽芳;998-1004
海洋洋流/潜流测量热分布型微纳流速传感器车啸婷;贾治森;王振宇;管轶华;郜晚蕾;金庆辉;1005-1013
加工、测量与设备
基于微流控芯片的ZnO纳米材料可控合成邹磊;郑欣宇;赵振杰;李欣;1014-1022
Ni2+含量对Ni-Al双金属氢氧化物的电化学性能的影响黄晓炜;姚江峰;相文峰;1023-1029
基于聚酰亚胺薄膜的柔性Cu-Ni热电堆的制备与性能邱霁玄;王佩英;王欢;张成功;李以贵;1030-1034+1045
SiC晶片超精密化学机械抛光技术庞龙飞;李晓波;李婷婷;贾军朋;1035-1040
掩模版真空复制图形位置精度分析束名扬;刘勇;袁卓颖;1041-1045
中国电子科技集团公司第十三研究所光电专业部产品推介
970
第七届全国新型半导体功率器件及应用技术研讨会暨2021半导体功率器件技术创新与产业融合发展论坛
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