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《微纳电子技术》2022年01期

 
目录
技术论坛
巨磁阻抗传感器在生物检测领域的研究进展孔云;吴次南;魏千惠;张青竹;魏峰;1-8+30
涡发生器强化矩形微细通道传热的研究进展郑思尧;郭方文;黄魁;林清宇;冯振飞;9-18
器件与技术
射频磁控溅射ITO薄膜对TOPCon太阳电池光电性能的影响郭永刚;王冬冬;陈丹;石惠君;张敏;李得银;19-24+83
材料与结构
超级电容器电极材料VS4@PPy的制备及其电化学性能赵匡健;卞梓垚;李宽;李凯楠;肖倩;曹海静;刘永生;方泽波;刘士彦;朱燕艳;25-30
柔性石墨烯/聚偏氟乙烯电加热复合膜的制备与研究李安琪;辛斌杰;31-37
MEMS与传感器
基于Ti3SiC2/Ecoflex纳米复合材料的足底能量采集器邹杰;石树正;宋金沙;何汇成;穆继亮;38-43+83
基于聚二甲基硅氧烷微米结构的柔性单电极摩擦纳米发电机张满;山程;夏良平;党随虎;曾梦婷;杜春雷;44-49
一体化仿生结构压电MEMS水声传感器石树正;耿文平;毕开西;李芬;丑修建;50-57
基于核酸检测的微流控芯片设计与传热分析胡润林;王立新;任晓龙;58-65+73
加工、测量与设备
基于MEMS工艺的压电驱动的可变形反射微镜王一;王欢;李以贵;66-73
微纳尺度下准一维超导体TaSe3的物理减薄王子佳;吴志勇;李承翰;詹鹏飞;杨泽燕;吴海城;宝日玛;邢颖;74-83
基于离子束辅助沉积生长柔性类单晶硅的方法高莹;陈俊孚;吴苏州;索进平;84-92
氮掺杂多孔碳纳米纤维的制备及其储钾性能都玲玲;王雁;苏芸;王斌;刘洋;93-98
有机介质薄膜-陶瓷异构集成互连技术杨鑫;刘英坤;张鹤;张崤君;杨欢;高岭;99-106
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