目录
技术论坛
FinFET/GAAFET纳电子学与人工智能芯片的新进展(续)赵正平;293-305
器件与技术
二维MoS2（1-x）Se2x特性及其光电晶体管性能钱程;巫君杰;李潇;徐浩;306-311+347
材料与结构
Co2+掺杂提升镍铁氢氧化物的析氧电催化稳定性刘喜春;宋钫;312-321
碳掺杂MnSn（OH）6纳米立方电极材料的制备及其在超级电容器中的电化学性能任俊锋;王海兵;曹海静;李慧玉;朱燕艳;方泽波;322-327+378
石墨烯的氧化与抗菌特性周可心;苗泽萌;杨勇;黄小露;张耀中;李新红;张亚非;328-334+364
MEMS与传感器
一种超宽带柔性梯形环分形天线的设计陈沁文;张斌珍;段俊萍;邓浩;武鑫磊;335-340+355
双加热电阻柔性MEMS流速传感器的测控电路涂云婷;崔峰;赵韦良;341-347
跷跷板式MEMS加速度计锚点与梁优化设计任臣;杨拥军;陈鹏旭;348-355
加工、测量与设备
锌基准固态电池磷化钴镍电极的制备与性能付天宇;童新;熊大元;徐少辉;王连卫;356-364
双层鞘气聚焦对气溶胶喷印粉末汇聚特性的影响刘波;舒霞云;常雪峰;王策;周智;365-372+378
CaMoO4纳米颗粒的合成、表征及电化学性能曹璟;徐丽;李丽花;373-378
Cu/SU-8复合结构的高精度机械研磨田苗;周欣;陈舒静;张笛;瞿敏妮;毛海平;乌李瑛;379-384+391
TTA-K与pH值对Ru阻挡层Cu互连图形片CMP的影响张雪;周建伟;王辰伟;385-391
第十五届中国微纳电子技术交流与学术研讨会会议通知
392