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《微纳电子技术》2022年05期

 
目录
技术论坛
碳纳米管在环境检测与食品安全领域的研究进展申惠娟;韩太坤;邓锂强;赖国霞;祁玲敏;宁土荣;393-398
器件与技术
势垒层Al组分呈台阶梯度的AlGaN/GaN异质结构场效应晶体管房玉龙;张志荣;尹甲运;王波;高楠;芦伟立;陈宏泰;牛晨亮;399-403
材料与结构
柔性PPy/CNT复合电极的电沉积制备与表征李涛;朱平;404-409+416
Ag-O共掺GaN纳米管的电子结构和p型特性第一性原理研究熊明姚;张锐;文杜林;苏欣;410-416
MEMS与传感器
四氯金酸修饰的单壁碳纳米管室温气体传感器田阗;马德福;尹欢;朱明奎;苏言杰;417-423+457
碳酸氢钠对柔性摩擦纳米发电机输出性能的影响陈亮;石树正;耿明超;何剑;424-431
快速响应的微型色谱柱及GC谱线拟合方案王晓雨;王卓然;陈裕欣;王艳芳;侯中宇;432-436+444
基于侧面DLP的3D打印技术制作微流控芯片陈晓霞;龙妍婷;张楚;赵飞;李闯;吴小婷;王冲;陈翔;437-444
无铅KNN/rGO/PDMS柔性复合薄膜压电纳米发电机李银辉;孙娇娇;谈建强;夏梦杰;李朋伟;445-452
一种提高NV磁力计稳定性的方法陈宇雷;李铜铜;王大为;芦宾;郭爱心;田晋;453-457
加工、测量与设备
基于蓝宝石衬底生长GaN的立式HVPE控制系统设计余平;孙文旭;修向前;马思乐;458-464
退火时间对ITO薄膜应变计性能的影响杨涛;孙道恒;陈国淳;武超;海振银;陈沁楠;李鑫;何功汉;465-472
一种新型铂铑薄膜热电偶的制备及其性能测试张秋宁;张志杰;陈昊泽;473-479+493
不同溶液中浸泡处理对WO3薄膜的影响祁昊;朱秀梅;苏江滨;何祖明;蒋美萍;480-488
150mm高质量15kV器件用4H-SiC同质外延生长吴会旺;杨龙;薛宏伟;袁肇耿;489-493
中国电子科技集团公司第十三研究所光电产品推介
452
征文通知 第十六届固态和集成电路技术国际会议
494
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