微纳电子技术杂志社
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《微纳电子技术》2020年01期

 
目录
技术论坛
FinFET纳电子学与量子芯片的新进展赵正平;1-6
用于增强药物和疫苗经皮给送的微针技术张永华;王璟;张楠;张健;7-12器件与技术
基于SrTiO3的频率可调谐太赫兹超材料吸波器(英文)王鑫;王俊林;王宗利;庞慧中;刘苏雅拉图;田虎强;13-21材料与结构
复合陷光织构膜对光面晶体硅电池光电特性的影响彭海烽;许志龙;洪永强;杨星;李煌;22-28
Ag-X(X=F,Cl,Br,I)共掺杂锐钛矿TiO2的可见光吸收董明慧;苑光明;王学文;唐顺磊;白志明;29-35MEMS与传感器
基于烛灰纳米颗粒层的高灵敏度MEMS湿度传感器陈贵东;毛海央;熊继军;王玮冰;陈大鹏;36-40+48
基于聚合物材料的转动和摆动传感器技术王志华;黄以诚;姚涛;吕殿利;张惠娟;周严;41-48
一种新型微波叶尖间隙传感器路晓;谭秋林;49-53+65加工、测量与设备
量子调控型NV色心系综磁强计灵敏度优化郭卫军;郑斗斗;王军旗;柴笑晗;牛刘敏;秦丽;马宗敏;54-58+79
355 nm全固态紫外激光加工玻璃通孔工艺王文涛;梁庭;雷程;李奇思;李永伟;李志强;单存良;59-65
多量子阱红外探测器耦合光栅的新型制备工艺孙伟业;邓军;何磊磊;杜欣钊;66-72
等离子体工艺对PDMS褶皱断纹的影响刘杰;李孟春;73-79
微波功率器件中AuGe合金焊接界面特征陈杰;刘峰;饶真真;杨春容;李晔;黄新临;80-84



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